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To cite or link to this reference: http://hdl.handle.net/10068/284476
Title :

Dielectric breakdown in thermally grown oxide layers Analysis, effects of contamination and cleaning strategy for defect reduction

Author :
Verhaverbeke, Steven ;
Corporate author :
Louvain, Katholieke Univ., Heverlee (Belgium). Departement Elektrotechniek ;
Publication year :
1993
Language :
English ;
Pagination/Size :
220 p. ;
SIGLE classification :
20K - Solid-state physics ;
Document type :
U - Thesis ;
Gov't Doc # :
Contract ;
Other identifier :
BE_ 1999:1390 ; BE ;
handle :
http://hdl.handle.net/10068/284476
Provenance :
SIGLE ;
Get a copy :
UCL - Université Catholique de Louvain
Availability :
KULeuven Campusbibliotheek Exacte Wetenschappen
Country :
Belgium ;